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光谱学与光谱分析  2004, Vol. 24 Issue (05): 529-531    
  光谱学与光谱分析 |
EUV波段电光成像系统分辨率的实验研究
薛玲玲,陈 波,李玉民
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 应用光学国家重点实验室, 吉林 长春 130022
The Experiment Study on the Resolution of Electro-Optical Imaging System at EUV Wave Band
XUE Ling-ling, CHEN Bo, LI Yu-min
State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Science, Changchun 130022, China