激光入射角对高频激光诱导击穿光谱信号强度及重复性的影响研究
杨文锋1, 谢旻玥1, 钱自然1, 李绍龙1, 曹宇2, 林德惠1, 吕双祺1, 杨晓强1, 华海杰1
1.中国民用航空飞行学院民机复合材料研究中心, 四川 广汉 618307
2.温州大学机电工程学院, 浙江 温州 325035

作者简介: 杨文锋, 1979年生,中国民用航空飞行学院民机复合材料研究中心教授 e-mail: ywfcyy@163.com

摘要

原位、 实时的在线监测技术有助于提升飞机蒙皮激光除漆过程的可控性。 激光诱导击穿光谱(LIBS)是一种高效且快速的元素分析技术, 通过激光材料作用过程中产生的等离子体光谱信息快速分析漆层元素变化, 实现智能化激光可控除漆。 LIBS技术在地质探测、 成分检测、 过程监测等领域也展现了广泛的应用潜力。 而受监测对象外轮廓或表面形态限制, 采用LIBS技术进行探测、 检测、 监测时, 不可避免出现激光以非垂直入射方式与材料表面作用, 促使诱发的等离子体光谱强度及稳定性出现波动, 影响基于LIBS技术的地质探测、 成分检测、 过程监测结果。 因此, 为提高LIBS分析的准确性, 需要考虑激光入射角对LIBS光谱强度及重复性的影响。 论文针对飞机蒙皮自由曲面或几何突变区域的激光除漆LIBS在线监测, 采集了不同激光入射角下的LIBS光谱, 采用基线校正对原始光谱进行数据预处理, 并选取6条特征谱线作为分析光谱, 研究了激光入射角对LIBS光谱特征信号强度及其重复性的变化规律与成因。 结果表明, 在激光入射角从90°下降至60°(间隔5°)范围, 特征峰强度随激光入射角的减小总体呈“先增大后减小”的规律, 其中特征谱线Ti Ⅰ 429.926 nm对激光入射角有较好的敏感程度和响应特性。 当激光入射角为75°时, 特征谱线Ti Ⅰ 429.926 nm的特征峰强度相比于激光入射角为90°的特征峰强度增加了近145%, 该结果说明激光入射角的选取有利于提升光谱信号质量、 增强信号强度。 此外, 特征谱线Ti Ⅰ 429.926 nm的特征峰强度在激光入射角75°~65°范围内重复性较好, 而其余元素特征峰强度在激光入射角为85°时重复性较好。 本研究阐述了激光以垂直、 非垂直入射方式时LIBS特征光谱的联系和差异, 揭示了激光入射角对LIBS特征信号多维度特性的影响机制, 可为激光非垂直入射时的LIBS探测、 检测、 监测提供借鉴和参考。

关键词: 激光入射角; 激光诱导击穿光谱; 监测; 激光非垂直入射
中图分类号:TN249 文献标志码:A
The Effect of Laser Incidence Angle on the Signal Intensity and Repeatability of High-Frequency Laser-Induced Breakdown Spectra
YANG Wen-feng1, XIE Min-yue1, QIAN Zi-ran1, LI Shao-long1, CAO Yu2, LIN De-hui1, LÜ Shuang-qi1, YANG Xiao-qiang1, HUA Hai-jie1
1. Civil Aircraft Composites Materials Research Center, Civil Aviation Flight University of China, Guanghan 618307, China
2. Laser and Optoelectronic Intelligent Manufacturing Research Institute, Wenzhou University, Wenzhou 325035, China
Abstract

In-situ, real-time online monitoring technology helps improve the controllability of the aircraft skin removal process. Laser Induced Breakdown Spectroscopy (LIBS) is a highly efficient and fast elemental analysis technique, which realizes intelligent laser-controlled paint removal by quickly analyzing the elemental changes in the paint layer through the plasma spectral information generated during the laser's interaction with the material. LIBS technology has also demonstrated various potential applications in geologic exploration, compositional detection, process monitoring, etc. However, due to the limitation of the outer contour or surface morphology of the monitoring object, it is inevitable to use LIBS technology for exploration, detection, and monitoring. However, due to the limitations of the monitoring object's outer contour or surface morphology, when LIBS technology is used for detection, testing and monitoring, it is inevitable that the laser will act on the material surface in a non-perpendicular incidence mode, which will lead to fluctuations in the intensity and stability of the induced plasma spectra and affect the results of the geological detection, compositional testing and process monitoring based on LIBS technology. Therefore, in order to improve the accuracy of LIBS analysis, it is necessary to consider the effect of laser incidence angle on the intensity and repeatability of LIBS spectra. For the online monitoring of laser paint removal LIBS on free-form surfaces or geometrically mutated regions of aircraft skin, the paper collected LIBS spectra under different laser incidence angles, used baseline correction to preprocess the data of the original spectra, and selected six characteristic spectral lines as the analysis spectra, and studied the changing rules and causes of the laser incidence angle on the intensity of the characteristic signals of the LIBS spectra and their repeatability. The results show that in the range of laser incidence angle from 90° to 60° (5° interval), the intensity of the characteristic peaks decreases with the decrease of the laser incidence angle in a general pattern of “increasing first and then decreasing”, in which the characteristic spectral line Ti Ⅰ 429.926 nm has a better sensitivity and response to the laser incidence angle. When the laser incidence angle is 75°, the characteristic peak intensity of the characteristic spectral line Ti Ⅰ 429.926 nm increases by nearly 145% compared with that of the laser incidence angle of 90°, which indicates that the selection of the laser incidence angle is conducive to the enhancement of the spectral signal quality and signal intensity. In addition, the characteristic peak intensity of the characteristic spectral line Ti Ⅰ 429.926 nm has a better repeatability in the range of 75°~65° laser incidence angle, while the characteristic peak intensities of the rest of the elements have a better repeatability at the laser incidence angle of 85°. This study illustrates the connection and difference of the LIBS feature spectra when the laser is incident in vertical and non-vertical ways, and reveals the mechanism of the laser incidence angle on the multi-dimensional characteristics of the LIBS feature signals, which can be used as a reference for the detection, testing, and monitoring of LIBS when the laser is not incident vertically.

Keyword: Laser incidence angle; Laser-induced breakdown spectroscopy (LIBS); Monitoring; Non-vertical laser incidence
引言

飞机维护、 维修时, 为了检查基体的腐蚀、 损坏情况, 或更换表面的老化漆层, 需去除表面不同厚度的漆层, 传统化学溶剂、 物理打磨等方法由于污染环境、 除漆过程与效果不可控等, 不符合“ 双碳” 目标及可控除漆的工程需求[1]。 激光除漆技术凭借除漆效率高、 污染小、 精度高等优势受到了广泛关注[2]。 但除漆过程与质量的反馈控制还需在线监测技术提供保障。 目前, 激光清洗监测技术主要有声信号[3]、 图像信号[4]和光谱信号[5]监测, 但声监测方法易受环境噪声干扰, 图像监测实时性较差。

激光诱导击穿光谱(laser-induced breakdown spectroscopy, LIBS)是基于原子发射光谱学的物质成分和浓度分析技术, 采用高能量脉冲激光烧蚀材料表面, 被烧蚀区域的样品材料吸收激光能量, 形成高温、 高密度的激光等离子体, 发射出带有样品内元素特征波长的等离子体光谱, 信号的波长和强度分别反映样品中的元素与含量[6, 7, 8]。 由于具有样品制备简便、 多元素快速分析、 远程分析等优点, LIBS技术被广泛应用于低频(Hz级)纳秒脉冲激光地质勘探[9]、 过程监测[10]、 成分检测[11]等领域。 采用低频纳秒脉冲激光单点作用于样品表面, 由于激光脉冲间隔时间远大于等离子体寿命, 结合时间分辨技术, 能够有效抑制等离子体初期产生的连续背景光谱。 然而, 在激光除漆监测领域, 为提高激光除漆效果与效率, 多采用高频(kHz级)纳秒脉冲激光进行平面扫描, 对特定区域材料表面持续进行激光激发并采集光谱信号, 获取连续且动态的光谱数据。 相比低频单点LIBS光谱, 高频除漆LIBS监测过程面临等离子体残余效应、 热累积效应、 光谱信号重叠的共同作用, 光谱数据分析难度增大, 仅依靠单条光谱信息无法准确对除漆过程进行实时监控, 因此高频激光LIBS监测需结合除漆过程中的多条光谱进行综合分析。

然而, 以往关于LIBS技术的应用几乎都是在激光束以垂直入射照射材料表面的情况下进行的, 而对于月球探测[12]、 岩石成分检测、 激光清洗监测领域, 虽然激光入射角会以“ 垂直” 方式实施, 但面临实际表面宏微观形貌, 其实质就是一种入射角不断发生改变的作用方式。 探测领域, 如好奇号火星探测器[13]在探测火星岩石和土壤成分时, 由于岩石表面形态复杂, 表面的不平整与不规则性导致实际激光入射角为非垂直入射。 检测领域, LIBS技术常用于水泥、 岩石等物质成分的定量分析, 这些物体的表面形态决定了激光束的入射范围。 监测领域, 进行大面积激光清洗工作时涉及清洗对象的自由曲面或几何突变区域, 如列车车身、 船体外板、 飞机机翼等。 监测对象外轮廓的不规则性或大曲率表面, 都可能导致激光的实际入射角并非设计的垂直方式。 故激光入射角对LIBS特征光谱的影响值得进一步研究。 Wu等[14]研究了核聚变装置中激光入射角对钨(W)等离子体光谱的影响, 得出W Ⅰ 和W Ⅱ 的发射线强度、 信噪比和信背比均随激光入射角发生变化。 Multari等[15]研究了土壤、 金属检测时激光入射角对LIBS光谱特性的影响, 研究发现采用光纤束收集等离子光谱时, 相比于激光垂直入射, 激光入射角为60° 时Si Ⅰ 和Mg Ⅰ 的发射强度更大。 Breves等[16]研究了激光入射角对等离子体的影响, 发现激光入射角会影响等离子体的激发与分布范围, 从而导致等离子体辐射强度变化。 Ké peš 等[17]研究了远距离探测时激光斜入射对LIBS光谱的影响, 发现激光斜入射会影响激光诱导等离子体的发射率, 造成等离子体分布的不均匀性。 上述研究表明, 激光入射角会影响等离子体的激发特性, 导致LIBS光谱强度、 稳定性、 峰位与峰形等[16]发生变化。

现有研究都集中于激光入射角是否对低频单点激发LIBS检测结果及准确性造成影响, 对于高频连续激发LIBS检测结果的影响鲜有报道。 相比低频单点LIBS光谱, 激光入射角对高频连续激发LIBS光谱的影响更加显著且复杂。 因此, 研究激光入射角对高频连续激发LIBS光谱特性的影响, 获得LIBS光谱特性的变化规律并提高光谱的重复性是当前亟待解决的问题。 论文对比研究了激光以垂直、 非垂直入射方式时连续激发的LIBS特征光谱, 揭示了激光入射角对LIBS特征信号多维度特性的影响机制。

1 实验部分
1.1 材料

基体为经过阳极氧化处理的2024-T3态Al-Cu-Mg系硬铝合金, 厚度约为2 mm。 在基体表面涂覆CA7700黄色环氧底漆及CA8000白色聚氨酯面漆, 漆层厚度分别约为30和60 μm。 利用能谱仪(energy dispersive spectroscopy, EDS)进行面漆、 底漆、 铝合金基体元素成分的离线测试, 得到漆层主体金属元素为Ti, 其余含量较低的元素有Cr、 Si、 Cu、 Zn等。

1.2 激光除漆LIBS监测系统

该系统由激光除漆系统和LIBS监测系统组成, 如图1所示, 激光除漆系统由脉冲光纤激光器(厂家: IPG, 型号: YLPN-50-100-500-R, 波长: 1 064 nm, 频率范围: 2~50 kHz, 功率范围: 50~500 W, 脉冲宽度: 25~100 ns, 光束能量服从平顶分布)、 扫描振镜、 激光加工头等组成。 LIBS监测系统主要包括: 光纤光谱仪(厂家: 海洋光学, 型号: MX2500+, 全波段探测范围: 380~595 nm, 分辨率: 0.22 nm, 积分时间: 1.1 ms~65 s)、 采集探头、 光纤、 计算机。

图1 激光除漆LIBS在线监测系统示意图Fig.1 Schematic diagram of LIBS online monitoring system in the process of laser paint removal

基于前期试验, 选择激光频率为8 kHz, 脉宽为100 ns, 单脉冲能量约为0.062 J, 扫描速度为2 500 mm· s-1, 扫描区域为5 mm× 5 mm。 为降低脉冲能量抖动及背景噪声对LIBS光谱稳定性的影响, 设置光谱仪积分时间为5 ms。 采集光纤探头与水平方向夹角为50° 。 图1右上角是模拟激光束作用于自由曲面的激光入射角示意图。 由于投影于平面上的激光光斑尺寸为微米级, 与厘米级的待清洗面存在数量级差异, 此时自由曲面近似为与切线方向平行的斜面。 因此可以通过平面样品的角度改变来替代激光入射角的改变。 本研究采用角度调整装置, 改变平面样品的倾斜角, 达到改变激光入射角的目的。 针对图1所示, 以漆层表面正切方向与激光束方向之间的夹角(锐角)来表征激光入射角(θ ), 选择激光入射角范围为60° ~90° 。 角度调整装置用于改变激光入射角, 模拟具有不同曲率表面的漆层外轮廓。 由于激光入射角的改变, 可能会出现待除漆区域中心激光焦点的微小变动, 在本研究中, 假设忽略细小离焦, 统一为激光入射角的改变。 为了降低漆层不均匀性对LIBS监测结果的影响, 在每个激光入射角处选取5个激光清洗区域, 将5个清洗区域分别表示为R1、 R2、 R3、 R4、 R5, 每个清洗区域采集9条光谱。

高频激光飞机蒙皮除漆过程中, 由于高频、 长脉宽等特点, 造成热辐射机制占主导地位。 激光脉冲频率大于光谱仪最大采集频率, 收集的光谱包含多个等离子体生命周期的信息, 并且无法通过延长探测时间避免黑体辐射和轫致辐射的影响。 因此, 光谱将具有很强的连续背景噪声, 连续背景噪声导致光谱强度远高于真实值, 应将其剔除。 本研究借鉴了拉曼光谱的处理方法, 即自适应迭代重新加权惩罚最小二乘法(air PLS)算法[18], 以去除连续背景光谱。 如图2(a)所示, 该算法通过拟合原始曲线(黑色曲线)获得连续的背景(红色曲线), 而真实强度(蓝色曲线)是通过从原始光谱的强度中减去背景光谱的强度来获得的, 如图2(b)。

图2 漆层材料典型LIBS光谱Fig.2 Typical LIBS spectrum of paint material

参考美国国家标准与技术研究院(Nation Institute of Standards and Technology, NIST)的原子光谱数据库(atomic spectra database, ASD)对特征谱线进行标定, 结果如表1所示。 波长与标准波长存在一定误差, 主要受环境因素和基体效应影响[19]。 其中特征谱线C Ⅰ 501.178 nm处特征峰强度远高于其余特征峰强度, 因C元素是漆层材料的主要元素, 在不同激光入射角时均达到较高强度, 故不将其作为特征谱线进行讨论。 而特征谱线Ti Ⅰ 445.216 nm波长与NIST数据库标准波长存在0.088 9 nm误差, 远高于其他特征谱线波长误差, 为了提高分析结果的准确性, 不将其作为特征谱线进行讨论。 最终选取了Ti Ⅰ 429.926 nm、 Ti Ⅰ 453.324 nm、 Cr Ⅱ 491.224 nm、 Cr Ⅰ 520.83 nm、 Cr Ⅰ 551.23 nm、 Si Ⅱ 566.062 nm特征谱线作为研究对象。

表1 特征谱线误差分析 Table 1 Characteristic spectral line error analysis
2 结果与讨论
2.1 激光入射角对光谱参数的影响

定义数据变化幅度(variation, VA)为强度最大值与强度最小值的差值与强度最大值的比值, 以VA值来评价激光入射角对LIBS光谱参数的影响程度。 VA公式如式(1)。

VA=IMAX-IMINIMAX×100%(1)

特征峰强度是LIBS光谱的重要参数之一。 本研究对激光入射角发生变化时, 特征峰强度的变化趋势进行了讨论。 漆层表面5个激光除漆区域采集的LIBS特征峰强度如图3所示。 所有特征峰的强度都随激光入射角发生变化, 其总体趋势为随激光入射角的减小, 特征峰强度先增大后减小。

图3 特征峰强度随激光入射角的变化Fig.3 Variation of characteristic peak intensity with laser incident angle

其中特征谱线Cr Ⅰ 520.83 nm在激光入射角为75° 时均值特征峰强度最大, 均值强度值为5 171.878 (a.u.), 在90° ~60° 范围, VA为46%。 而Ti的特征谱线Ti Ⅰ 429.926 nm、 Ti Ⅰ 453.324 nm, 在激光入射角变化时, 特征峰强度存在更为明显的变化, VA分别为61%、 58%, 其余特征峰VA均小于50%。 表明在激发条件改变的情况时, 特征峰强度的变化幅度与元素含量成正比例关系。 由于特征峰强度的变化幅度反映了元素对外界条件变化时的敏感程度和响应特性, 因此在进行分析时, 为了更精准地捕捉元素对激光入射角的动态响应, 选用变化幅度相对较大的特征峰Ti Ⅰ 429.926 nm进行分析。 而受漆层喷涂均匀性影响, 即使在相同的激光入射角, 特征峰强度也会有所变化。

因此, 针对飞机蒙皮除漆过程, 也需关注激光入射角对一次激光除漆LIBS监测光谱的影响, 分析监测过程中特征峰强度的动态变化。 图4显示了一次激光除漆LIBS监测过程特征峰强度随激光入射角的变化趋势, 随激光入射角减小, 特征峰强度呈现先增大后减小的趋势。

图4 单条光谱特征峰强度随激光入射角变化
特征峰分别为(a) Ti Ⅰ 429.926 nm、 (b) Ti Ⅰ 453.324 nm、 (c) Cr Ⅱ 491.224 nm、 (d) Cr Ⅰ 520.83 nm、 (e) Cr Ⅰ 551.23 nm及(f) Si Ⅱ 566.062 nm
Fig.4 Variation of characteristic peak intensity in a single spectrum with changes in laser incident angle
Characteristic peaks are respectively (a) Ti Ⅰ 429.926 nm, (b) Ti Ⅰ 453.324 nm, (c) Cr Ⅱ 491.224 nm, (d) Cr Ⅰ 520.83 nm, (e) Cr Ⅰ 551.23 nm, (f) Si Ⅱ 566.062 nm

激光入射角为75° 时, Ti Ⅰ 429.926 nm特征峰强度的分布较为集中, 且整体呈现较高的强度。 而激光入射角为80° 和70° 时, 特征峰强度个别较高, 但整体较为分散。 这表明激光入射角为75° 时, 有利于光谱信号的收集和聚焦, 提升光谱信号强度。 激光非垂直入射一方面会影响激光与漆层的作用方式。 激光非垂直入射时, 由于光斑形状从圆形变为椭圆形, 激光光斑面积随激光入射角的减小呈非线性增大, 增大了激光束与漆层表面的作用面积[20]。 图5展示了激光垂直入射时及以θ 角度入射时的激光光斑面积变化。 当激光非垂直入射时, 光斑面积增大, 导致单位面积的激光能量密度降低, 但等离子体的辐射强度不仅由能量密度决定, 还受到激光与材料相互作用方式的影响。 激光入射角的变化, 一定程度上提高了总能量的利用率, 材料表面吸收更多的激光能量, 从而激发出更高密度的等离子体, 增强了辐射强度。 同时在激光非垂直入射的情况下, 光斑内的能量分布呈非对称状态。 这种非对称性可能导致材料的局部烧蚀更集中, 从而在某些区域形成更高温度的等离子体。 此外, 激光非垂直入射时, 激光与表面相互作用的倾角增加, 反射损失可能减少, 增加了材料对激光能量的吸收效率[21]

图5 不同入射角光斑能量分布图
(a): 垂直入射; (b): 以θ 角度入射
Fig.5 Spot energy distribution at different angles of incidence
(a): Vertical incidence; (b): Incidence at an angle of θ

激光非垂直入射也会改变等离子体在三维空间中的位置。 通常, LIBS监测系统收集的特征光谱多数是从等离子体的核心部分辐射的光谱[22]。 而等离子体的空间分布呈垂直于漆层表面以半球形向外扩散, 在与样品垂直的方向上等离子体辐射强度最大, 在样品表面周围辐射强度减小[23]。 图6展示了激光入射角分别为90° 、 75° 、 60° 时等离子体空间分布变化。

图6 等离子体空间分布示意图Fig.6 Schematic diagram of plasma spatial distribution

由于采集镜头放置于漆层材料左侧, 激光入射角为90° 时(红色区域), 等离子体核心位置沿激光轴线对称分布, 扩展方向几乎垂直于表面。 激光入射角为75° 时(绿色区域): 随着激光入射角减小, 等离子体核心位置向靠近采集探头的方向偏移, 主要受激光与表面作用的方向影响。 激光入射角为60° (蓝色区域)时: 入射角进一步减小, 等离子体核心位置偏移更显著, 且扩展方向偏离采集探头的有效范围。

激光入射角改变影响等离子体在三维空间的位置, 进而导致等离子体在空间中的演变特性呈现不同的变化趋势。 图7 展示了光谱随激光入射角的改变而在空间中的演变过程, 观察可发现三维空间中光谱的分布存在显著的差异。 不同特征谱线随激光入射角的变化而演变的形状各不相同, 在激光入射角为75° 时谱峰强度达到最大值。

图7 光谱形状随激光入射角的变化
(a): 光谱形状演变图; (b): 光谱强度映射图
Fig.7 Variation of spectral shape with laser angle
(a): Evolution diagram of spectral shape; (b): Spectral intensity mapping

谱线积分面积可有效减小特征峰中心偏移引起的特征峰强度误差, 提高LIBS测量的准确性和可靠性[24]。 图8显示了Ti Ⅰ 429.926 nm谱线形状、 谱线积分面积VA随激光入射角的变化趋势。 随着激光入射角的减小, 谱线形状由“ 矮平” 向“ 高尖” 转化, 继续减小激光入射角, 谱峰形状又变化为“ 矮平” 。 在激光入射角为75° 时, 谱线积分面积达到最大值, 并在这一角度为中心呈现出近似“ 对称” 的分布模式。 谱线积分面积随激光入射角的变化呈现出与特征峰强度类似的变化规律, 即先增大后减小。 而激光入射角为70° 时, 采集的多条光谱积分面积变化幅度较大, 表明在该角度下光谱形状的稳定性受激光入射角的影响最大。

图8 谱线形状及谱线积分面积VA随激光入射角变化
Ti Ⅰ 429.926 nm特征谱线(a)谱线形状演变图; (b)谱线积分面积VA及特征峰强度对比图
Fig.8 Variation of peak shape and line integral area of Ti Ⅰ 429.926 nm spectrum with laser incidence angle
Ti Ⅰ 429.926 nm Characteristic spectral line (a) Evolution diagram of spectral line shape; (b) Comparison diagram of spectral line integral area VA and characteristic peak intensity

2.2 激光入射角对特征信号强度重复性的影响

Ké peš 等[17]证实了激光斜入射影响等离子体扩散的均匀性, 当激光非垂直入射时, 等离子体辐射方向发生改变, 以垂直方向为中心半球形扩散转化为与垂直方向呈(90° -θ )为中心扩散, 等离子体在三维空间的分布情况发生转变可能导致其形态变化, 造成光谱重复性出现差异。 与激光单点激发LIBS光谱不同, 激光除漆采用高频脉冲激光作用于漆层表面, 高频脉冲激光可能会涉及热量积累效应, 导致清洗过程可能存在材料温度改变的情况, 影响等离子体的辐射特性, 对光谱的重复性也有一定的影响。 此外, 激光非垂直入射时, 光斑从圆形变为椭圆形, 激光能量在表面的分布更为广泛。 这可能会影响材料表面不同元素的激发效率, 进而导致特征谱线的变化[25]

6个特征信号强度及其重复性如图9所示, Ti元素相较于其他微量元素特征峰强度变化更大, 其特征峰强度RSD范围在10.38%~20.56%之间, 其余4条特征谱线的特征峰强度RSD在8.36%~14.66%之间。 特征峰强度的重复性与激光入射角不具有严格的线性关系, Ti的特征谱线Ti Ⅰ 429.926 nm、 Ti Ⅰ 453.324 nm, 在激光入射角介于75° ~65° 范围内得到较优化的重复性。 其他元素的特征峰在激光入射角为85° 时展现出较佳的重复性, 说明激光入射角的选取有利于光谱稳定性的提升。 而不同元素重复性不同的原因可能是, Ti元素在漆层中含量较高, 激光入射角在75° ~65° 范围时, 由于激光作用面积扩大且总能量利用率较高, 产生了更均匀且高温的等离子体, 从而使Ti元素的激发效率和重复性达到最佳。 此外, 激光入射角减小时, 等离子体核心位置向采集系统方向偏移, 这种采集效率的提升也可能对Ti元素的谱线重复性起到积极作用。 Cr、 Si元素含量较低, 在85° 的高能量密度情况下, 这些元素的激发效率更高, 等离子体的空间分布和采集范围较为集中, 因此其重复性表现更优。

图9 特征信号强度及RSD值随激光入射角的变化Fig.9 Variation of characteristic signal intensity and relative standard deviation (RSD) values with laser angle

均值特征信号强度的重复性一定程度上可以反映光谱数据的整体重复性, 然而光谱具有时间分辨和空间分辨, 等离子体生命周期不同阶段的辐射稳定性不尽相同, 均值重复性一定程度上会掩盖单条异常光谱的出现, 仅采用均值特征信号强度的重复性无法有效表征激光入射角对光谱重复性的影响。 由于激光入射角为75° 时, 特征峰强度及重复性均达到较优水平。 因此, 以Ti Ⅰ 429.926 nm特征谱线为例, 对比激光垂直入射(90° )与激光非垂直入射(75° )时的特征信号强度变化。 图10、 11分别显示了激光入射角分别为90° 、 75° 时的除漆区域内9条依次排序的特征信号峰值强度, 两者的变化趋势差异明显。

图10 激光入射角为90° 条件下的谱峰强度剖面图
(a): 特征峰; (b): LIBS光谱峰值强度等高线图; (c): 特征峰波动
Fig.10 Peak intensity profile under a laser incidence angle of 90°
(a): Spectral peaks; (b): Contour map of peak intensity for LIBS spectra; (c): Fluctuation of spectral peak

图11 激光入射角为75° 条件下的谱峰强度剖面图
(a): 特征峰; (b): LIBS光谱峰值强度等高线图; (c): 特征峰波动
Fig.11 Peak intensity profile under a laser incidence angle of 75°
(a): Spectral peaks; (b): Contour map of peak intensity for LIBS spectra; (c): Fluctuation of spectral peak

激光垂直入射(90° )时, 特征信号强度呈小范围波动, 未出现明显突变点。 激光非垂直入射(75° )时, 特征信号强度演变过程存在3个明显的强度突变点, 3个点所对应的光谱线序号依次为3、 5、 8。 从序号3的特征光谱开始, 特征峰强度持续上升, 到达序号5时, 特征峰强度饱和, 随后进入持续的红温区, 即等离子体辐射强度在一定时间内保持较高的水平, 这可能与连续激发热量积累效应有关。 与均值光谱重复性不同, 激光垂直入射(90° )优于非垂直入射(75° )的单条光谱重复性。 造成以上现象的原因可能是: 激光入射角的改变影响了等离子体的激发特性, 造成光谱的突变性增加。 而均值光谱一定程度上掩盖了单条光谱突变的情况, 造成激光入射角对均值光谱和单条光谱重复性的影响表现出不一致性, 从而进一步证明了激光入射角对LIBS监测的重要性。

3 结论

开展了激光非垂直入射和垂直入射条件下, 激光诱导等离子体光谱及特征参数表征的研究。 结果表明, 激光入射角从90° 减小至60° (间隔5° ), LIBS的特征峰强度呈先增加后降低的演变趋势, 且在激光入射角为75° 时达到最大值。 针对特征谱线Ti Ⅰ 429.926 nm, 研究了谱线积分面积随激光入射角的变化规律, 结果表明谱线积分面积随激光入射角的减小呈先增加后降低的趋势, 并在激光入射角为70° 时VA达到最大值。 此外, 研究发现特征谱线Ti Ⅰ 429.926 nm、 Ti Ⅰ 453.324 nm的特征峰在激光入射角为75° ~65° 范围内重复性较好, 而其余元素的特征峰在激光入射角为85° 时重复性较好, 该结果表明激光入射角影响等离子体在三维空间的分布, 造成不同元素重复性的差异, 根据分析元素选取激光入射角有利于光谱重复性的提升。 但均值重复性在一定程度上会掩盖单条异常光谱对整体重复性的影响, 所以在对LIBS光谱进行分析时, 需同时考虑均值重复性与单条光谱重复性对LIBS光谱的影响。

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