激光锡等离子体极紫外光源发射光谱诊断研究
胡桢麟
1,
2
, 王天泽
1,
2
, 何梁
1,
2
, 林楠
1,
2,
*
, 冷雨欣
1,
2
, 陈卫标
3
Research on Emission Spectrum Diagnosis of Laser-Produced Tin Plasma Extreme Ultraviolet Source
HU Zhen-lin
1,
2
, WANG Tian-ze
1,
2
, HE Liang
1,
2
, LIN Nan
1,
2,
*
, LENG Yu-xin
1,
2
, CHEN Wei-biao
3
1 μm固体激光驱动Sn等离子体极紫外光源实验系统原理图