自激式电感耦合等离子体光源设计及光谱分析
卢思贤1, 龙开红2, 詹陈锐1, 李明1,*

Self-Excited Inductively Coupled Plasma Source Design and Spectral Analysis
LU Si-xian1, LONG Kai-hong2, ZHAN Chen-rui1, LI Ming1,*
自激式ICP光源的原理框图