大口径辅助阳极型辉光放电溅射源的设计与研究
万真真1, 武佳1, 施宁1,*, 王永清1,*, 刘少锋1, 沈懿璇2, 王海云1

Design and Research of Glow Discharge Excitation Source With Large Aperture Auxiliary Anode
WAN Zhen-zhen1, WU Jia1, SHI Ning1,*, WANG Yong-qing1,*, LIU Shao-feng1, SHEN Yi-xuan2, WANG Hai-yun1
口径40 mm传统阳极和辅助阳极仿真对比 (a-1): 口径40 mm传统阳极电子密度分布云图; (a-2): 口径40 mm传统阳极样品近表面电子密度一维绘图;(b-1): 口径40 mm辅助阳极电子密度分布云图; (b-2): 口径40 mm辅助阳极样品近表面电子密度一维绘图