大口径辅助阳极型辉光放电溅射源的设计与研究
万真真1, 武佳1, 施宁1,*, 王永清1,*, 刘少锋1, 沈懿璇2, 王海云1

Design and Research of Glow Discharge Excitation Source With Large Aperture Auxiliary Anode
WAN Zhen-zhen1, WU Jia1, SHI Ning1,*, WANG Yong-qing1,*, LIU Shao-feng1, SHEN Yi-xuan2, WANG Hai-yun1
口径40 mm传统阳极和辅助阳极溅射坑形貌对比 表3 为采用传统阳极和辅助阳极(口径30 mm和口径40 mm)溅射坑深度的实测数据。 可见, 增设辅助阳极后, 溅射坑平均坑深增加, 中心区域溅射显著增强。 用均匀性标准偏差S(溅射坑各位置深度值的标准差)作为衡量溅射坑整体均匀性的指标, 口径30 mm时增设辅助阳极可使均匀性提升13.33%, 口径40 mm时增设辅助阳极可使均匀性提升46.15%。 随着口径增大, 对均匀性的改善结果越为明显。