基于MEMS-FPI片上光谱芯片的多组分痕量气体检测系统
刘兆海1, 安昕辰1,3, 陶治1,2, 刘向1,2,*

Multicomponent Trace Gas Detecting and Identifying System Based on MEMS-FPI on-Chip Spectral Device
LIU Zhao-hai1, AN Xin-chen1,3, TAO Zhi1,2, LIU Xiang1,2,*
数字化的二次谐波信号显示系统 (a): 混合气体检测信号; (b): 50 μL·L-1甲烷气体检测信号