基于MEMS-FPI片上光谱芯片的多组分痕量气体检测系统
刘兆海1, 安昕辰1,3, 陶治1,2, 刘向1,2,*

Multicomponent Trace Gas Detecting and Identifying System Based on MEMS-FPI on-Chip Spectral Device
LIU Zhao-hai1, AN Xin-chen1,3, TAO Zhi1,2, LIU Xiang1,2,*
(a) 500 μL·L-1甲烷气体的测量信号与参比信号; (b) 1 000 μL·L-1二氧化碳气体的测量信号与参比信号; (c)甲烷气体差分信号; (d)二氧化碳气体差分信号; (e)不同浓度甲烷气体二次谐波信号; (f)不同浓度二氧化碳气体二次谐波信号