基于MEMS-FPI片上光谱芯片的多组分痕量气体检测系统
刘兆海1, 安昕辰1,3, 陶治1,2, 刘向1,2,*

Multicomponent Trace Gas Detecting and Identifying System Based on MEMS-FPI on-Chip Spectral Device
LIU Zhao-hai1, AN Xin-chen1,3, TAO Zhi1,2, LIU Xiang1,2,*
(a)滤波器控制电压与峰值透射波长的关系; (b)传感器温度与峰值透射波长关系; (c)不同峰值透射波长光谱曲线(1 640~1 653 nm); (d) 1 653 nm的DFB激光器光谱扫描下, 不同中心透射波长光谱传感器信号