基于MEMS-FPI片上光谱芯片的多组分痕量气体检测系统
刘兆海1, 安昕辰1,3, 陶治1,2, 刘向1,2,*

Multicomponent Trace Gas Detecting and Identifying System Based on MEMS-FPI on-Chip Spectral Device
LIU Zhao-hai1, AN Xin-chen1,3, TAO Zhi1,2, LIU Xiang1,2,*
(a) TEC温控; (b)多路DFB激光器; (c) DFB激光器驱动信号; (d)激光器模块内部结构; (e)工作温度设定为25 ℃, 1 543~1 742 nm六个不同激光器在驱动电流40~100 mA时的光谱信号