基于MEMS-FPI片上光谱芯片的多组分痕量气体检测系统
刘兆海1, 安昕辰1,3, 陶治1,2, 刘向1,2,*

Multicomponent Trace Gas Detecting and Identifying System Based on MEMS-FPI on-Chip Spectral Device
LIU Zhao-hai1, AN Xin-chen1,3, TAO Zhi1,2, LIU Xiang1,2,*
(a)自研多组分气体检测系统结构; (b)时分复用气体检测系统; (c)频分复用气体检测系统; (d)二氧化碳气体在1 578 nm附近波段吸收谱线; (e)超连续谱光源下1 000 μL·L-1二氧化碳与500 μL·L-1乙烯混合气体检测信号(左)、 对200 μL·L-1二氧化碳与100 μL·L-1乙烯混合气体检测信号(右); (f)多通道DFB激光器下1 000 μL·L-1二氧化碳与500 μL·L-1乙烯混合气体检测信号(左)、 对200 μL·L-1二氧化碳与100 μL·L-1乙烯混合气体检测信号(右)