XPS数据用于计算薄膜厚度时的处理方法
, 陈萌 Methods of Processing XPS Data for Calculating Film Thickness
LIU Han, CHEN Meng*
, CHEN Meng 
XPS数据用于计算薄膜厚度时的处理方法 |
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刘涵, 陈萌 |
Methods of Processing XPS Data for Calculating Film Thickness |
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LIU Han
, CHEN Meng |
| 含碳污染的两层模型的ARXPS信号激发示意图 在不同测试角度下有如式(19)和式(20)信号表达式 |
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