远程Ar等离子的发射光谱研究
, 杨鑫, 邢倩云, 张宇 Emission Spectroscopy Study of Remote Ar Plasma
LI Ru, YANG Xin, XING Qian-yun, ZHANG Yu
, YANG Xin, XING Qian-yun, ZHANG Yu 
远程Ar等离子的发射光谱研究 |
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李茹, 杨鑫, 邢倩云, 张宇 |
Emission Spectroscopy Study of Remote Ar Plasma |
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LI Ru
, YANG Xin, XING Qian-yun, ZHANG Yu |
| 远程Ar等离子体电子密度随射频功率的变化 |
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