基于相位展开及拼接算法的一种高精度大量程宽光谱干涉显微术

赵文豪^1,², 李俊¹, 杜凯¹, 熊亮¹, 尹韶云¹, 胡建明³, 王金玉^1,^2,^*

A High Precision and Large Range Measuring Method for Broadband Light Interferometric Microscopy Based on Phase Unwrapping and Stitching Algorithm

ZHAO Wen-hao^1,², LI Jun¹, DU Kai¹, XIONG Liang¹, YIN Shao-yun¹, HU Jian-ming³, WANG Jin-yu^1,^2,^*

微纳结构测量实验 (a): 测试样品的灰度图;(b)—(d): 测试样品在不同位置干涉图的调制度分布