Bi靶激光等离子体极紫外光源以及碎屑辐射特性研究

谢卓^1,³, 王海建¹, 窦银萍^1,^*, 宋晓伟^1,^*, 林景全^1,²

Characteristics of Extreme Ultraviolet and Debris Emission From Laser Produced Bi Plasma

XIE Zhuo^1,³, WANG Hai-jian¹, DOU Yin-ping^1,^*, SONG Xiao-wei^1,^*, LIN Jing-quan^1,²

不同激光功率密度下波长11.8和12.5 nm处的极紫外辐射强度随激光功率密度变化的曲线