高阻隔铝塑膜辉光放电发射光谱深度谱测量参数的优化
胡立泓1, 张锦桐1, 王丽云2, 周刚3, 王江涌1,*, 徐从康1,*

Optimization of Working Parameters of Glow Discharge Optical Emission Spectrometry of High Barrier Aluminum Plastic Film
HU Li-hong1, ZHANG Jin-tong1, WANG Li-yun2, ZHOU Gang3, WANG Jiang-yong1,*, XU Cong-kang1,*
(a)—(e)在相同工作气压(750 Pa)、 脉冲频率(3 000 Hz)、 占空比(0.187 5)和不同功率((a)20 W, (b)25 W, (c)30 W, (d)35 W, (e)40 W)条件下, 样品的GDOES溅射深度谱; (f) 表示(a)—(e)测量的Al信号强度归一化的GDOES溅射深度谱