高阻隔铝塑膜辉光放电发射光谱深度谱测量参数的优化
胡立泓1, 张锦桐1, 王丽云2, 周刚3, 王江涌1,*, 徐从康1,*

Optimization of Working Parameters of Glow Discharge Optical Emission Spectrometry of High Barrier Aluminum Plastic Film
HU Li-hong1, ZHANG Jin-tong1, WANG Li-yun2, ZHOU Gang3, WANG Jiang-yong1,*, XU Cong-kang1,*
同一个样品不同溅射气体的归一化 Al强度-溅射时间谱