光谱测量在激光加工在线监测上的应用研究进展

胡国庆^1,², 管迎春^1,^2,^3,^*

Research Progress of Spectral Measurement on the On-Line Monitoring of Laser Processing

HU Guo-qing^1,², GUAN Ying-chun^1,^2,^3,^*

(a)激光烧蚀的声、光和电信号监测实验装置, (b)空气中氟化氪准分子激光烧蚀硅时声波第一个幅度峰峰值和烧蚀速率与激光功率密度的映射关系, (c)激光功率为20.3 J·cm^-2且探针距离为3 mm时, 532 nm Nd:YAG激光烧蚀W基底时检测的电信号, 其中, 衬底偏置分别为-20, -5, 0, +5和+20 V, (d)芯片封装表面1 064 nm Nd:YAG激光去毛刺时, SiO, SiⅠ, SiⅡ和SiⅢ谱线光功率与激光功率密度的关系^{[ 34 ]}; (e)光声和光混合测量实验装置示意图, (f)前15个激光脉冲辐照互相关运算得到的最大幅度, (g)前15个激光脉冲辐照后的光学照片^{[ 74 ]}; (h)骨钻孔过程中的温度变化^{[ 72 ]}