光学玻璃基底原子层同质材料沉积薄膜光谱及激光诱导损伤特性研究
程海鹏1,2, 耿锋2, 刘民才2, 张清华2, 李亚国1,*

Spectral and Laser-Induced Damage Characteristics of Atomic Layer Deposited SiO2 Films on Fused Silica Glass
CHENG Hai-peng1,2, GENG Feng2, LIU Min-cai2, ZHANG Qing-hua2, LI Ya-guo1,*
沉积速率与沉积温度间的关系 在实验温度范围内, 沉积速率随着基底温度的升高而增大