光学玻璃基底原子层同质材料沉积薄膜光谱及激光诱导损伤特性研究
程海鹏1,2, 耿锋2, 刘民才2, 张清华2, 李亚国1,*

Spectral and Laser-Induced Damage Characteristics of Atomic Layer Deposited SiO2 Films on Fused Silica Glass
CHENG Hai-peng1,2, GENG Feng2, LIU Min-cai2, ZHANG Qing-hua2, LI Ya-guo1,*
单次ALD反应循环示意图 A类硅烷前驱体与熔石英表面羟基反应, 采用惰性气体吹扫多余的反应前体及副产物; 然后B类氧化前体与表面反应, 再次进行吹扫