基于微束X射线荧光光谱的粉末冶金高温合金成分定量分布分析及应用

沈学静^1,², 李冬玲^1,^2,^*, 彭涯³, 魏民⁴, 赵雷^1,², 王海舟^2,³

Quantitative Distribution Analysis of P/M Super Alloy Composition Based on Micro Beam X-Ray Fluorescence Spectroscopy and Its Application

SHEN Xue-jing^1,², LI Dong-ling^1,^2,^*, PENG Ya³, WEI Min⁴, ZHAO Lei^1,², WANG Hai-zhou^2,³

微区X射线荧光光谱仪的结构示意图 1: 铑光源; 2: 多毛细管光学元件; 3: 硅漂移探测器; 4: 样品;5: 聚焦入射X射线束; 6: 样品台; 7: 真空泵; 8: 输出荧光