高性能三维纳米结构SERS芯片设计、批量制备与痕量汞离子检测

黄辉^1,², 田毅², 张梦蝶^1,², 徐陶然², 牟达^1,^*, 陈佩佩^2,^3,^*, 褚卫国^2,^3,^*

Design and Batchable Fabrication of High Performance 3D Nanostructure SERS Chips and Their Applications to Trace Mercury Ions Detection

HUANG Hui^1,², TIAN Yi², ZHANG Meng-die^1,², XU Tao-ran², MU Da^1,^*, CHEN Pei-pei^2,^3,^*, CHU Wei-guo^2,^3,^*

模板制备过程和制备得到的模板结构 (a): 制备模板图案区纳米结构流程图; (b): 制备模板应力分化区结构示意图;(c)—(e): 制备得到六边形纳米柱结构扫描电镜图