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光谱学与光谱分析  2020, Vol. 40 Issue (06): 1973-1978    DOI: 10.3964/j.issn.1000-0593(2020)06-1973-06
  论文 |
光栅光谱衍射效率测量新技术的误差分析与校正方法研究
王圣浩1,邵建达1,2,3,刘世杰1*,李灵巧1*,吴周令2,3,陈 坚2,3,黄 明2,3
1. 中国科学院上海光学精密机械研究所精密光学制造与检测中心,上海 201800
2. 合肥知常光电科技有限公司,安徽 合肥 230031
3. 超光滑表面无损检测安徽省重点实验室,安徽 合肥 230031
Error Analysis of the New Measurement Technique for Obtaining the Spectral Diffraction Efficiencies of a Grating
WANG Sheng-hao1, SHAO Jian-da1, 2, 3, LIU Shi-jie1*, LI Ling-qiao1*, WU Zhou-ling2, 3, CHEN Jian2, 3, HUANG Ming2, 3
1. Precision Optical Manufacturing and Testing Center, Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics, Chinese Academy of Sciences, Shanghai 201800, China
2. ZC Optoelectronic Technologies, Ltd., Hefei 230031, China
3. Anhui Province Key Laboratory of Non-Destructive Evaluation, Hefei 230031, China