远程Ar等离子的发射光谱研究
李茹
, 杨鑫, 邢倩云, 张宇
Emission Spectroscopy Study of Remote Ar Plasma
LI Ru
, YANG Xin, XING Qian-yun, ZHANG Yu
远程Ar等离子体不同压强下的Boltzmann拟合曲线