远程Ar等离子的发射光谱研究
, 杨鑫, 邢倩云, 张宇 Emission Spectroscopy Study of Remote Ar Plasma
LI Ru, YANG Xin, XING Qian-yun, ZHANG Yu
, YANG Xin, XING Qian-yun, ZHANG Yu 
远程Ar等离子的发射光谱研究 |
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李茹, 杨鑫, 邢倩云, 张宇 |
Emission Spectroscopy Study of Remote Ar Plasma |
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LI Ru
, YANG Xin, XING Qian-yun, ZHANG Yu |
| 远程Ar等离子体特征谱线相对强度随轴向距离的变化情况 (a): 179~1 100 nm; (b): 特定波长 |
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