Bi靶激光等离子体极紫外光源以及碎屑辐射特性研究
谢卓1,3, 王海建1, 窦银萍1,*, 宋晓伟1,*, 林景全1,2

Characteristics of Extreme Ultraviolet and Debris Emission From Laser Produced Bi Plasma
XIE Zhuo1,3, WANG Hai-jian1, DOU Yin-ping1,*, SONG Xiao-wei1,*, LIN Jing-quan1,2
角度分别为18°, 36°, 54°和72°时典型的飞行时间曲线图 我们对100~600 mJ激光能量下、 不同角度所探测离子信号峰值时间进行归纳总结如 图7 (a)所示。 随着激光能量的增加, 每个角度所探测离子信号峰值的延时在减少。 根据离子信号峰值时间, 获得极坐标下的离子动能角分布如 图7 (b)所示。 从图中可以看出, 固定探测角度时, 离子动能随着激光能量的增加而增加。 其由于离子动能 E 与电子温度 T e、 离子平均价态Z满足如下关系[ 24 ]