Bi靶激光等离子体极紫外光源以及碎屑辐射特性研究

谢卓^1,³, 王海建¹, 窦银萍^1,^*, 宋晓伟^1,^*, 林景全^1,²

Characteristics of Extreme Ultraviolet and Debris Emission From Laser Produced Bi Plasma

XIE Zhuo^1,³, WANG Hai-jian¹, DOU Yin-ping^1,^*, SONG Xiao-wei^1,^*, LIN Jing-quan^1,²

Bi靶双脉冲激光产生的极紫外光谱辐射(a)不同预脉冲能量所对应Bi等离子体极紫外光谱曲线图; (b)峰值在11.8和12.5 nm附近的EUV光辐射强度随预脉冲能量变化的关系