金属/介质薄膜中声子热辐射的空间和各向异性研究
董欣
, 张霞, 孙学博, 元双秀, 徐慧, 苏富芳
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Study on the Space and Anisotropy of Phonon Thermal Radiation in Metal/Dielectric Thin Films
DONG Xin
, ZHANG Xia, SUN Xue-bo, YUAN Shuang-xiu, XU Hui, SU Fu-fang
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SiO
2
薄膜SEM图 (a): Si/Al薄膜衬底上; (b): Si衬底上