光谱测量在激光加工在线监测上的应用研究进展

胡国庆^1,², 管迎春^1,^2,^3,^*

Research Progress of Spectral Measurement on the On-Line Monitoring of Laser Processing

HU Guo-qing^1,², GUAN Ying-chun^1,^2,^3,^*

用于钛合金激光清洗的(a)反射光信号功率测量装置和(b)等离子体光信号测量装置, (c)不同功率密度和脉冲数下的反射光功率变化曲线和(d) 0.7 J·cm^-2功率密度和大气环境下Ti64的发射光谱^{[ 57 ]}; (e)用于涂层去除在线监测的He-Ne激光反射光信号功率测量系统装置示意图, (f)不同功率密度和每点脉冲数下的反射光功率变化曲线^{[ 24 ]}; (g)基于时间分辨反射光谱测量的激光辐照材料表面物相变化监测装置, (h)金属钛在接近1 J·cm^-2的不同功率密度激光辐照下的反射光时间分辨光谱^{[ 38 ]}; (i)油画清洁表面和未清洁表面的光相干成像图片, (j)油画清洁和未清洁表面以及原始漆层和基底的傅里叶变换红外光谱^{[ 19 ]}