光谱测量在激光加工在线监测上的应用研究进展

胡国庆^1,², 管迎春^1,^2,^3,^*

Research Progress of Spectral Measurement on the On-Line Monitoring of Laser Processing

HU Guo-qing^1,², GUAN Ying-chun^1,^2,^3,^*

(a)用于激光清洗表面监测和过程诊断的反射光光谱监测装置示意图, (b)色度( x , y 和 z )随辐照激光脉冲数变化的变化, 在主要波长-激发纯度圆坐标平面体系中, (c)辐照不同脉冲数下的特征值和(d)污染表面、清洁表面和损伤表面的特征值, (e)在主要波长和能级的 X-Y 平面坐标系中的污染表面、清洁表面和损伤表面的特征值, (f)清洁表面和损伤表面的显微照片^{[ 23 ]}