光谱测量在激光加工在线监测上的应用研究进展

胡国庆^1,², 管迎春^1,^2,^3,^*

Research Progress of Spectral Measurement on the On-Line Monitoring of Laser Processing

HU Guo-qing^1,², GUAN Ying-chun^1,^2,^3,^*

(a)基于单脉冲激光诱导等离子体光谱监测的激光加工装置及(b)基于发射强度检测进行实时调焦的原理示意图, (c)在AlN、钢铁、钠钙玻璃和1737玻璃上激光划线时, 不同透镜和样品间距下的等离子体特征谱线强度变化^{[ 36 ]}; (d)基于多脉冲激光诱导等离子体光谱监测的激光加工装置, (e)单脉冲和多脉冲激光加工时激发的等离子体信号强度对比^{[ 17 ]}