提高红外微测辐射热计光谱吸收率的金属光栅结构研究
张宇峰
1
, 王洋
1
, 吴元庆
1
, 戴景民
2
Study on Metal Grating Structure for Improving Spectral Absorptivity of Infrared Microbolometer
ZHANG Yu-feng
1
, WANG Yang
1
, WU Yuan-qing
1
, DAI Jing-min
2
微测辐射热计的光栅结构示意图