芯片级硅基光谱仪研究进展

王伟平^1,^*, 金里²

Research Progress of On-Chip Spectrometer Based on the Silicon Photonics Platform

WANG Wei-ping^1,^*, JIN Li²

(a)一个拥有 j 个开光的dFT光谱仪的结构框图, 共有 j /2-1个重复的台阶; (b)前道硅制造工艺后的64通道dFT光谱仪的俯视显微图, 给出了干涉仪的排布, 热光开关和波导集成Ge探测器; (c)全封装的, 即插即用光谱仪图, 具有标准的FC/PC光纤接口和控制及信号读出电缆^{[ 38 ]}