芯片级硅基光谱仪研究进展
王伟平1,*, 金里2

Research Progress of On-Chip Spectrometer Based on the Silicon Photonics Platform
WANG Wei-ping1,*, JIN Li2
基于热调的片上Fourier变换光谱仪 (a): SOI平台上的MZI与集成金属微加热器的原理图; (b): 器件的横截面图, 给出了条形硅波导的准TE模式和电流流过微加热器时的加热区域(光线为红色); (c): 实验器件的光学显微图, 总版图为1 mm2; (d): 加热器下MZI臂的光学显微图; (e): 宽带功率分束/合束器的电子显微镜图