芯片级硅基光谱仪研究进展
王伟平1,*, 金里2

Research Progress of On-Chip Spectrometer Based on the Silicon Photonics Platform
WANG Wei-ping1,*, JIN Li2
多模波导光谱仪设计及响应[ 30 ] (a): 包含转换矩阵和集成光电探测器的原理图; (b): 3个不同位置处测量得到的散斑功率分布 p ( x ; ω ); (c): p ( ω )的平均自协方差; (d): 芯片的显微镜图; (e): 多模波导的掩膜视图; 图中颜色较浅的部分不属于测试部分; (f): 扇入/扇出的掩膜视图; 多模输入/输出在左侧, 通过锥形波导输出, 对接耦合至12个单模波导