芯片级硅基光谱仪研究进展

王伟平^1,^*, 金里²

Research Progress of On-Chip Spectrometer Based on the Silicon Photonics Platform

WANG Wei-ping^1,^*, JIN Li²

(a) 带有一个片外探测器的SOI AWG光谱仪结构图; (b) AWG的设计版图^{[ 27 ]}