双路微波耦合反应腔的等离子体发射光谱分析
李方辉, 何中文, 曹为, 赵洪阳, 付秋明, 许传波, 马志斌*

Plasma Emission Spectroscopy Analysis of Two-Way Microwave Coupled Reaction Cavity
LI Fang-hui, HE Zhong-wen, CAO Wei, ZHAO Hong-yang, FU Qiu-ming, XU Chuan-bo, MA Zhi-bin*
各方向上不同气压所对应的反应腔内等离子体发射光谱图 (a): 沿 Z 轴方向; (b): 沿 X 轴和 Y 轴方向