脉冲功率对含硅量子点SiC<em> <sub>x</sub></em>薄膜物相结构及光谱特性的影响

脉冲功率对含硅量子点SiC _x薄膜物相结构及光谱特性的影响

张志恒, 赵飞, 杨雯^*, 莫镜辉, 葛文, 李学铭, 杨培志

Effect of Pulse Power on the Phase Structure and Spectral Properties of SiC _x Thin Films Containing Si Quantum Dots

ZHANG Zhi-heng, ZHAO Fei, YANG Wen^*, MO Jing-hui, GE Wen, LI Xue-ming, YANG Pei-zhi

(a) Si-QDs薄膜的Raman光谱;(b) 样品S₈₀的Gauss分峰拟合图