石英衬底上GaN薄膜沉积及其光学性能的研究
张东1, 赵琰1,*, 宋世巍1, 李昱材1, 王健1, 毕孝国1, 高靖2, 王春生2

Study on the Deposition and Optical Properties of GaN Films at Quartz Substrate
ZHANG Dong1, ZHAO Yan1,*, SONG Shi-wei1, LI Yu-cai1, WANG Jian1, BI Xiao-guo1, GAO Jing2, WANG Chun-sheng2
氮气流量100 sccm时石英衬底上沉积的GaN薄膜的XRD图谱