石英衬底上GaN薄膜沉积及其光学性能的研究
张东
1
, 赵琰
1,
*
, 宋世巍
1
, 李昱材
1
, 王健
1
, 毕孝国
1
, 高靖
2
, 王春生
2
Study on the Deposition and Optical Properties of GaN Films at Quartz Substrate
ZHANG Dong
1
, ZHAO Yan
1,
*
, SONG Shi-wei
1
, LI Yu-cai
1
, WANG Jian
1
, BI Xiao-guo
1
, GAO Jing
2
, WANG Chun-sheng
2
氮气流量100 sccm时石英衬底上沉积的GaN薄膜的XRD图谱