入射激光功率对硅纳米线拉曼光谱及荧光光谱的影响
张秋慧1, 郭壮志1, 冯国英2
1. 河南工程学院电气信息工程学院, 河南 郑州 451191
2. 四川大学电子信息学院, 四川 成都 610064

作者简介: 张秋慧, 女, 1982年生, 河南工程学院电气信息工程学院副教授 e-mail: newyear1234@163.com

摘要

一维纳米材料硅纳米线是目前重要的光电材料之一, 采用化学气相沉积法制备了硅纳米线, 实验研究了不同功率532 nm激光激发下的拉曼光谱和荧光光谱, 随着入射激光功率的增加, 一阶拉曼光谱出现红移和非对称加宽, 而且红移同入射激光功率成正比, 光致荧光光谱出现蓝移和双峰结构。 使用声子限域效应、 应变效应和激光非均匀加热效应对实验结果进行了分析, 并采用matlab模拟了入射激光功率同拉曼频移的理论关系曲线, 结果表明激光非均匀加热效应是引起拉曼光谱和光致荧光光谱变化的主要原因。

关键词: 硅纳米线; 拉曼光谱; 荧光光谱
中图分类号:O437 文献标志码:A
The Effect of Incident Laser Power on Raman Spectra and Photoluminescence Spectra of Silicon Nanowires
ZHANG Qiu-hui1, GUO Zhuang-zhi1, FENG Guo-ying2
1. College of Electrical and Information Engineering, Henan University of Engineering, Zhengzhou 451191, China
2. College of Electronics and Information Engineering, Sichuan University, Chengdu 610064, China
Abstract

Silicon nanowires is one of key photoelectric materials. In this paper, silicon nanowires have been fabricated by chemical vapor deposition, the Raman spectra and photoluminescence spectra excited by 532 nm laser have been studied, first-order Raman peaks were found to red shift and broaden with the increase of incident power, photoluminescence blueshifted to shorter wavelength and another peak appeared. The experiment results were analyzed by phonon confinement effect, lattice stress, and nonuniform heating effect of laser, the relation between laser power and Raman shift simulated by Matlab, it was found that the nonuniform heating effect of laser is the main reason for Raman spectra and photoluminescence spectra change with incident power.

Keyword: Silicon nanowires; Raman spectra; Photoluminescence

引 言

近年来, 一维纳米材料受到人们的广泛关注[1, 2, 3], 硅纳米线作为一维纳米材料中的一员是目前重要的光电材料之一, 特殊的一维结构导致尺寸减小, 出现了量子限域效应、 非定域量子相干效应、 非线性光学效应及库伦阻塞效应, 使其表现出了不同于体材料的特殊性质[4, 5, 6, 7], 例如较好的光致发光性能、 场发射特性以及较低的热传导率等, 并且与硅技术有很好的兼容性, 广泛应用在微纳光电子器件领域, 制作高性能场效应晶体管、 生物传感器、 场发射显示器、 光伏器件等。

拉曼光谱作为一种重要的检测手段对晶格微结构非常敏感, 拉曼光谱检测法通常通过研究晶格振动特性研究材料的微结构, 拉曼光谱的位置、 线型等反映了纳米硅材料的维度、 结晶度、 非晶性等物理特性, 研究硅纳米线的拉曼光谱对于进一步理解硅纳米线的性质是非常重要的[8, 9, 10]。 此外, 硅纳米线在制作硅基光发射器件方面具有重要的应用前景。 众所周知, 对于低维度纳米结构硅来说, 其光致荧光主要位于可见光的红光区(最大在700 nm左右), Vladimir Svrcek等制备的硅纳米晶实现了蓝光发射[11]。 制约硅纳米线光致荧光特性的是其量子限域效应, 虽然光致荧光谱强弱主要由纳米线尺寸决定, 但是温度、 压强等环境因素对硅纳米线光致荧光谱的位置和强弱同样存在影响[12, 13]

实验采用化学气相沉积法制备硅纳米线, 并使用532 nm激光激发其拉曼光谱和荧光光谱, 实验给出了不同功率激光作用下制备硅纳米线拉曼光谱和荧光光谱的变化规律, 随着入射激光功率的增加, 一阶拉曼光谱出现红移和非均匀加宽, 荧光光谱蓝移, 同时从理论上给出了解释。

1 实验部分

实验所使用硅纳米线采用化学气相沉积法制备, 将镀有10 nm金膜的硅片放在石英加热管中心位置处, 抽真空, 以10 ℃· min-1的速度加热到550 ℃, 加热的同时在石英管中通入100 sccm氢气和100 sccm氩气, 当温度加热到550 ℃时, 石英管中通入100 sccm氩气和100 sccm SiH4, 并通过调节机械泵将石英管中压强保持在10 kPa, 15 min后硅基底上即生长出硅纳米线, 停止加热, 在石英管中冷却的同时通入100 sccm氢气和100 sccm氩气, 生长的硅纳米线形貌如图1所示。

图1 硅纳米线SEM测量结果Fig.1 The SEM picture of silica nanowires

硅纳米线拉曼光谱测量采用自己搭建的拉曼光谱测量装置, 激发光为532 nm激光, 光谱分辨率为1 cm-1, 实验过程中记录了532 nm激光不同入射功率作用时的拉曼光谱, 532 nm激光聚焦在样品表面, 并且多次重复实验。 在记录硅纳米线拉曼光谱的同时, 记录了不同功率532 nm激光激发下的荧光谱。 光谱记录均采用HORIBA iHR320光谱仪。

2 理论分析
2.1 拉曼光谱分析

拉曼散射对晶格微结构非常敏感, 研究硅纳米线的拉曼光谱对于理解其微观结构至关重要。 图2给出了硅纳米线在不同入射功率激光激发下的一阶拉曼谱, 同时在图3中标出了硅纳米线一阶拉曼峰峰值位置实验数据, 并对实验数据进行了多项式拟合。 从图中可以明显的观察到, 随着激发激光功率的增加, 一阶拉曼谱发生红移, 并且出现非对称加宽。 为了能够进一步更直观的分析激发光功率对硅纳米线拉曼光谱的影响, 表1给出了不同入射激光功率作用下硅纳米线一阶拉曼光谱的具体参数。

图2 不同功率532 nm激光作用下, 硅纳米线拉曼光谱Fig.2 The Raman spectra of silica nanowires under different 532 nm laser power

图3 硅纳米线拉曼光谱峰值位置与激光功率关系曲线Fig.3 The experimental curve of silica nanowires Raman peak with laser power

表1 硅纳米线拉曼光谱参数 Table 1 The Raman parameters of silica nanowires

大量研究发现, 关于引起拉曼光谱一阶声子模红移和非对称加宽的原因主要可分为三类: (1)仅声子限域效应引起一阶拉曼峰红移和非对称加宽; (2)声子限域效应和压应变共同作用; (3)声子限域效应、 压应变和激光非均匀热效应共同作用[13, 14, 15]。 声子限域效应引起一阶拉曼峰红移和非均匀加宽是大家公认的, 而且随着纳米微结构尺寸的减小, 光频声子空间波函数被限制, 由于动量守恒, 拉曼散射不能被约束在布里渊区中心(q=0), 大部分|q|≠ 0的声子仍然被激活, 由于位于Γ 点附近的光频声子振动频率ω 随着波矢的增加而减小, 拉曼峰红移, 所以硅纳米线越细, 拉曼峰红移越多, 非对称加宽越严重[12, 16]

根据空间约束理论, 在假设色散各向同性情况下, 一阶拉曼谱可以由下式表示[17]

I(ω)=01exp(-q2L2/16π2)[ω-ω(q)]2+(Γ0/2)2dq(1)

其中Γ 0=4.0 cm-1为单晶硅拉曼峰线宽, L为描述晶粒尺寸的参数, 单位为a (a=5.43 Å , 硅晶格常数), ω (q)=520-120q2

由式(1)可以看出, 一阶拉曼光谱与纳米线的尺寸有关, 这也正是声子限域效应引起一阶拉曼峰红移和非对称加宽的本质原因。 而本文在整个实验过程中并没有变换硅纳米线样品, 所以硅纳米线尺寸是一定的, 故而出现图2实验结果, 不仅仅是声子限域效应引起的, 还必须要考虑应变效应和激光的非均匀加热效应。

晶格应力产生的拉曼峰频移可以近似由式(2)计算得到[18, 19]

δω=-3γ(a-a0)/a(2)

其中a为应变硅晶格常数, γ ~1.0为Guneisen常数, a0=5.42 Å 为单晶硅晶格常数。 Romesh Ghosh等[13]的研究结果表明, 由于晶格应变效应引起的拉曼峰频移仅有零点几个波数, 明显小于表1中硅纳米线拉曼峰频移。

硅纳米线在拉曼光谱测试过程中, 激发激光辐照会产生非均匀热效应, 这是引起硅纳米线拉曼光谱红移和加宽的主要原因。 激光辐照点的温度可以利用反斯托克斯和斯托克斯峰值比计算得到[20]。 使用尽可能低的入射激光功率对拉曼实验装置进行校准, 得到比例系数为1.13, 从而计算不同激光照射时, 辐照点温度如表1所示。 从表1所列结果可以看出, 随着入射激光功率的增加, 辐照点的温度增加, 这直接导致辐照点及周围硅纳米线温度升高, 影响其拉曼光谱。 Balkanski等通过考虑三次和四次非谐常数, 给出了拉曼峰值位置频移[17]

Δω(T)=C1+2ex-1+D1+3ey-1+3(ey-1)2(3)

其中CD为非谐常数, x= hω2kBTy= hω3kBT均为与温度有关的常数, h为约化普朗克常量。

综和考虑声子限域效应、 压应变和激光非均匀热效应对硅纳米线拉曼光谱频移的影响, 可以得到拉曼峰值位置为

ω=ω0+Δω(T)+Δ(P)+Δ(S)(4)

其中ω 0=520 cm-1为硅一阶拉曼峰值位置, Δ (P)为声子限域效应引起的频移, Δ (S)为应变效应引起的频移。

Su等[21]认为声子限域效应和应变效应引起的拉曼频移为2.8 cm-1时, 其实验和理论模拟达到了完美的统一。 而Chen等认为声子限域效应和应变效应引起的拉曼频移为3.8 cm-1 [12]。 根据式(1)可以计算得到由于声子限域效应引起的拉曼频移Δ (P)=1 cm-1, 由于应变效应引起的拉曼频移较小, 我们在模拟过程中取Δ (P)+Δ (S)=2.8 cm-1。 利用式(3)和式(4), 并使用matlab模拟得到硅纳米线一阶拉曼峰与温度关系曲线, 如图4所示。 在模拟过程中, 我们试图寻找CD的最佳取值, 使实验结果和理论曲线达到完美统一, 当C=-5.32和D=-0.02时, 理论结果和实验结果符合最好。 C取值和Chen等一致, 但大于Balkanski等[17]和Su等[21]取值。 D取值较小, 小于目前所查到文献中D的取值。 这说明本实验中所使用的自制硅纳米线振动势能的三次和四次非谐常数对拉曼光谱的峰值位置影响是比较大的。

图4 硅纳米线拉曼峰位置与温度关系曲线Fig.4 The Raman peak of silica nanowires VS temperature

2.2 荧光光谱分析

入射激光功率不仅影响硅纳米线拉曼光谱, 还影响其荧光光谱, 532 nm激光激发下硅纳米线荧光光谱如图5所示。

图5 532 nm激光不同功率作用下, 硅纳米线光致荧光谱Fig.5 The PL spectra of silica nanowires under different 532 nm laser power

从图中可以看出, 在532 nm激光激发下, 出现一峰值中心位于900 nm的近红外宽光致荧光谱, 随着入射激光功率的增加, 硅纳米线荧光光谱加宽, 荧光谱线强度增加, 而且出现蓝移。 在入射激光功率为310 mW时, 在750 nm附近出现一个新的光致荧光谱峰。 大量研究表明, 硅纳米线的发光特性受到很多因素的影响, 对光致发光起关键作用的是硅纳米线的量子限域效应, 而硅纳米线的尺寸影响光致荧光谱的强弱[22]。 量子限域效应也是目前解释硅纳米结构荧光光谱与硅纳米结构尺寸关系最成功的模型, 硅纳米结构荧光光谱峰值能量与纳米结构尺寸关系表达式为[13]

E=Eg(bulk)+Cd-α(5)

其中Cα 为常数, d为硅纳米结构直径。

然而在我们的实验中, 硅纳米线不仅在900 nm附近产生一光致荧光谱, 而且随着入射激光功率的增加光致荧光谱蓝移。 这说明由于量子限域效应我们所制备的硅纳米线在近红外波段产生荧光谱线, 而荧光谱线的蓝移是入射激光热效应引起的。 强激光入射在硅纳米线表面将产生强烈的热效应, 辐照过程相当于热退火过程, 热退火将改变硅纳米线表面结构和缺陷密度, 从而引起光致荧光谱蓝移, 同时光致荧光谱强度发生变化。

3 结 论

入射激光功率不仅影响硅纳米线的拉曼光谱, 而且影响光致荧光光谱。 随着激发光功率的增加, 一阶拉曼谱发生红移, 并且出现非对称加宽。 声子限域效应、 压应变和激光非均匀热效应共同作用导致了此现象, 但是, 采用Balkanski理论分析表明, 影响硅纳米线一阶拉曼光谱红移和非对称加宽的主要原因是激光非均匀热效应, 而且理论分析和实验结果达到了很好的一致性。 同时, 激光非均匀热效应导致硅纳米线光致荧光谱红移, 并且出现双峰结构。 此研究对基于硅纳米线的纳米光电子器件有重要的指导作用。

The authors have declared that no competing interests exist.

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