射频容性耦合等离子体放电特性的光谱诊断
刘冲
1
, 何湘
1,
*
, 张亚春
2
, 陈建平
3
, 陈玉东
3
, 曾小军
3
, 陈秉岩
1
, 朱卫华
1
Spectroscopic Diagnostics on Discharge Characteristics of RF Capacitive Coupled Plasma
LIU Chong
1
, HE Xiang
1,
*
, ZHANG Ya-chun
2
, CHEN Jian-ping
3
, CHEN Yu-dong
3
, ZENG Xiao-jun
3
, CHEN Bing-yan
1
, ZHU Wei-hua
1
射频容性耦合等离子体发生装置及其光谱诊断系统