射频容性耦合等离子体放电特性的光谱诊断

刘冲¹, 何湘^1,^*, 张亚春², 陈建平³, 陈玉东³, 曾小军³, 陈秉岩¹, 朱卫华¹

Spectroscopic Diagnostics on Discharge Characteristics of RF Capacitive Coupled Plasma

LIU Chong¹, HE Xiang^1,^*, ZHANG Ya-chun², CHEN Jian-ping³, CHEN Yu-dong³, ZENG Xiao-jun³, CHEN Bing-yan¹, ZHU Wei-hua¹

气压为300 Pa时不同功率下极板间电子温度(a)与电子密度(b)分布 1.2.2 气压变化对等离子体电子温度和电子密度分布的影响