放电辅助激光溅射气相金属化合物分子和离子的产生装置

张吉才^1,², 赵冬梅¹, 马新文¹, 杨杰^1,^*

Discharge Assisted Laser Ablation Source for Gas Phase Metal Compound Molecules and Ions

ZHANG Ji-cai^1,², ZHAO Dong-mei¹, MA Xin-wen¹, YANG Jie^1,^*

激光溅射铜靶结合CO放电等离子体产物飞行时间质谱, (a)仅有激光溅射条件; (b)仅有放电条件; (c)激光溅射结合放电条件结果表明, 激光溅射金属靶材结合气体放电, 可以有效产生气相金属化合物自由基离子。