相变区硅薄膜拉曼和红外光谱分析
范闪闪
1,
2
, 郭强
3
, 杨彦彬
3
, 丛日东
3
, 于威
3
, 傅广生
1,
3
Raman and IR Study on Silicon Films at Transition Regime
FAN Shan-shan
1,
2
, GUO Qiang
3
, YANG Yan-bin
3
, CONG Ri-dong
3
, YU Wei
3
, FU Guang-sheng
1,
3
不同氢稀释率硅薄膜样品的拉曼散射谱